微波助力半導體研究

更新時間：2023-08-18

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當下，半導體產業備受關注，在新能源汽車、光伏、儲能等需求帶動下，第三代半導體產業高速發展。

半導體材料處于半導體產業鏈的上游環節，是半導體產業的基石。其產業規模大、細分行業多。

其中，半導體膜是由半導體材料形成的薄膜。根據制備半導體薄膜的技術不同，在結構上可分為單晶、多晶和無定形薄膜。

探索最適合的消解參數，有利于后續對多種無機元素的快速準確測定。

實驗方案

儀器

新儀 MASTER-18 微波消解儀、趕酸器、分析天平(十萬分之一)等

試劑

硝酸(68%)，氫氟酸（40%）

實驗方法

精確稱取半導體薄膜材料50 mg（精確至0.1 mg），緩慢滴加8 mL 硝酸（劇烈反應，釋放氣體），靜置10 min 左右，待無明顯反應后，補加2 mL 氫氟酸，組裝消解罐，按照如下設置參數進行實驗：

實驗結束后，待冷卻至60℃以下，取出消解罐轉移至通風櫥中緩慢打開，趕酸稀釋后，樣品可完全消解至澄清透明狀態。

結果

實驗選取的半導體薄膜材料樣品，取樣為50 mg，加入硝酸靜置后，補加氫氟酸，最高實驗溫度210 ℃，保溫40 min 左右，樣品可完全消解。

注意

1、添加氫氟酸進行實驗后，需進行趕酸處理，防止氫氟酸對玻璃器皿造成腐蝕，也可能會對實驗結果造成影響。

2、添加硝酸后樣品反應劇烈，實驗過程中應緩慢加入或者分多次加入硝酸，同時實驗人員需做好防護。

信息化社會、人工智能、萬物互聯、現代農業、現代醫療、智能交通、國防安全……半導體材料市場需求爆發，加之國產化替代機遇、超大規模市場優勢……期待中國半導體產業騰飛！

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